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PH₃/H₂

Phosphin in Wasserstoff

Phosphoran ist eine wichtige n-Typ-dotierte Quelle bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen und wird auch bei der chemischen Gasphasenabscheidung von Polysilizium, epitaxialem GaP-Material, Ionenimplantationsprozessen, MOCVD-Prozessen, der Herstellung von Passivierungsschichten aus Phosphor-Silizium-Glas (PSG) und anderen Prozessen verwendet.

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Prozess

Vermischung

Chemischer Name Phosphin Wasserstoff
CAS-Nr 7803-51-2 1333-74-0
UN-Nr. 1954
Beschriften Sie Elemente
  • 1656661073891-ckt

    Signalwort: Gefahr

Beschreibung

Physikalische und chemische Eigenschaften
Physikalischer Zustand: Gas.
Aussehen: Farblos.
Geruch: Abstoßend.
Geruchsschwelle: 0.51 ppm (PH3)
Selbstentzündungstemperatur: 38 °C / 100 °F (Phosphin)

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Gefahrenhinweise

Fatal wenn inhaliert
Verursacht schwere Hautverätzungen und Augenschäden
Extrem entzündbares Gas
Entzündet sich bei Kontakt mit Luft spontan
Enthält Gas unter Druck; kann bei Erwärmung explodieren
Kann mit Luft explosive Gemische bilden
Die Symptome können verzögert auftreten


abwehr

Von Hitze, Funken, offenen Flammen, heißen Oberflächen fernhalten.
Rauchen verboten
Gas nicht einatmen.
Nur im Freien oder an einem gut belüfteten Ort verwenden und lagern
Schutzhandschuhe, Schutzkleidung, Augenschutz, Atemschutz und/oder Gesichtsschutz tragen
Verwenden Sie in der Rohrleitung einen Rückflussverhinderer
Mit Inertgas gespülte oder vor dem Entleeren aus der Flasche evakuierte Ausrüstung verwenden
Nur mit Ausrüstung verwenden, die aus kompatiblen Konstruktionsmaterialien besteht und für Flaschendruck ausgelegt ist
Öffnen Sie das Ventil erst, wenn es an die für den Gebrauch vorbereitete Ausrüstung angeschlossen ist
Schließen Sie das Ventil nach jedem Gebrauch und wenn es leer ist
Installieren Sie beim Zurücksenden der Flasche eine dichte Ventilauslasskappe oder einen dichten Stopfen


Übergabe und Lagerung

Vor Sonnenlicht schützen, wenn die Umgebungstemperatur 52 °C/125 °F übersteigt
In einem kühlen, trockenen, gut belüfteten Bereich aus nicht brennbarem Material fern von starker Beanspruchung lagern
Verkehrsflächen und Notausgänge.
Bei Temperaturen unter 52°C / 125°F aufbewahren.
Flaschen sollten aufrecht mit aufgesetzter Ventilschutzkappe gelagert und fest gesichert werden, um ein Herunterfallen zu verhindern.
Volle und leere Flaschen sollten getrennt werden.
Verwenden Sie ein „first in – first out“-Bestandssystem, um zu verhindern, dass volle Flaschen zu lange gelagert werden.
Gelagerte Behälter sollten regelmäßig auf allgemeinen Zustand und Undichtigkeiten überprüft werden.
Außen- oder freistehende Lagerung wird bevorzugt.

Oft gestellte Frage
  • F: Was ist die Spezifikation, die Sie liefern können?

    Gas: PH3/H2 Zylinder: 44L Ventil: DISS632

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